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Mini E-Beam Evaporator小型電子束蒸發(fā)器

簡(jiǎn)要描述:Mini E-Beam Evaporator小型電子束蒸發(fā)器是一種用于高精度薄膜沉積的edge-cutting工具。它適用于研究和生產(chǎn)環(huán)境,這種緊湊的系統(tǒng)利用電子束直接加熱坩堝中的蒸發(fā)物,能夠以的控制力沉積金屬。與傳統(tǒng)的熱蒸發(fā)方法相比,Mini E-Beam Evaporator具有更高的效率,對(duì)基底的熱負(fù)荷更低,并且能夠同時(shí)共蒸發(fā)多種材料,使其成為各種涂層應(yīng)用中多功能且可靠的解決方案。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-02-01
  • 訪  問(wèn)  量:45

詳細(xì)介紹

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Mini E-Beam Evaporator小型電子束蒸發(fā)器是一種用于高精度薄膜沉積的edge-cutting工具。它適用于研究和生產(chǎn)環(huán)境,這種緊湊的系統(tǒng)利用電子束直接加熱坩堝中的蒸發(fā)物,能夠以的控制力沉積金屬。與傳統(tǒng)的熱蒸發(fā)方法相比,Mini E-Beam Evaporator具有更高的效率,對(duì)基底的熱負(fù)荷更低,并且能夠同時(shí)共蒸發(fā)多種材料,使其成為各種涂層應(yīng)用中多功能且可靠的解決方案。

Evap-4兼容超高真空(UHV),可以單獨(dú)提供,也可以與Nikalyte定制的任何PVD系統(tǒng)集成。

Mini E-Beam Evaporator小型電子束蒸發(fā)器


關(guān)鍵特性:

·         最多可共蒸發(fā)4種材料

·         緊湊的源設(shè)計(jì)

·         對(duì)基底的熱負(fù)荷低

·         集成4通道電源

·         用于速率監(jiān)測(cè)的通量測(cè)量

·         兼容超高真空

·         可烘烤至250°C

·         包括手動(dòng)或氣動(dòng)控制快門(mén)的選擇

·         可定制的真空內(nèi)長(zhǎng)度


Mini E-Beam Evaporator小型電子束蒸發(fā)器規(guī)格:

·         安裝法蘭:NWCF63

·         真空內(nèi)長(zhǎng)度:標(biāo)準(zhǔn)300毫米(可定制長(zhǎng)度)

·         真空內(nèi)直徑:57毫米

·         坩堝體積:1000毫米31立方厘米)

·         坩堝材料:鉬(Mo)、鎢(W)、石墨(Gr

·         坩堝襯里:氧化鋁(Al?O?)、氮化硼(PBN

·         超高真空兼容性:是,可烘烤至250攝氏度

·         冷卻液流量:Min.1.0/分鐘

·         功率:?jiǎn)蜗?/span>100-240伏交流電,50/60赫茲

·         快門(mén):內(nèi)置手動(dòng)或可選氣動(dòng)操作



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