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EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀在非接觸模式下自動測量大型樣品的薄層電阻,最大可達(dá)300×300平方毫米(12×12英寸)。在手動樣品定位時(shí),該設(shè)備會自動測量并顯示整個(gè)樣品區(qū)域的薄層電阻的準(zhǔn)確映射。測量設(shè)置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時(shí)間或超過 10,000 個(gè)測量點(diǎn)的高空間測量分辨率之間進(jìn)行選擇。
EddyCus map C2C全自動電阻率成像系統(tǒng)用于晶圓襯底或外延片的全面積表征,以確保半導(dǎo)體行業(yè)的工藝可靠性和質(zhì)量保證。該系統(tǒng)配備了兩個(gè)在傳輸模式下工作的非接觸式渦流傳感器。這允許非常詳細(xì)地顯示基底材料或?qū)щ娡繉拥木鶆蛐浴T撓到y(tǒng)能夠測量薄膜的薄層電阻或金屬膜厚度以及晶圓襯底的電阻率。
EddyCus TF lab 2020電阻率測量儀可以對導(dǎo)電薄膜進(jìn)行手動單點(diǎn)測量,并以非接觸模式對薄金屬層進(jìn)行層厚測量。這個(gè)緊湊的臺式設(shè)備是快速和準(zhǔn)確測量200 x 200 mm²(8 x 8英寸)以下樣品的理想選擇。除了測量導(dǎo)電薄層外,還可以分析摻雜的晶圓和導(dǎo)電聚合物。
四探針面電阻測量儀SD-800采用四探針接觸式原理,用于測量導(dǎo)電膜層的面電阻,探針直徑大,針頭光滑,能伸縮,不易 劃傷膜層。儀器有多個(gè)量程范圍可自動選擇,以O(shè)hm/sq或Siemens/sq顯示數(shù)據(jù),校準(zhǔn)數(shù)據(jù)和測量結(jié)果 自動存儲。
非接觸式面電阻測試儀Statometer G采用感應(yīng)式測量原理,無探針接觸導(dǎo)電膜層,既可測量表面導(dǎo)電也可測量表面不導(dǎo)電的導(dǎo)電玻璃和導(dǎo)電膜層,是目前Low-E鍍膜生產(chǎn)普遍選用的優(yōu)質(zhì)選擇。
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